本文件規(guī)定了埋層硅外延片的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。 ?
本文件適用于具有埋層結(jié)構(gòu)的硅外延片的生產(chǎn)制造、測試分析和質(zhì)量評(píng)價(jià)，產(chǎn)品主要用于制作集成電路芯片和半導(dǎo)體分立器件。