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III族氮化物半導體材料中位錯成像的測試 透射電子顯微鏡法

標 準 號： GB/T 44558-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 東莞市中鎵半導體科技有限公司、TCL環(huán)鑫半導體(天津)有限公司、蘇州大學等
發(fā)布日期： 2024-09-29
實施日期： 2025-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2025年08月21日
內(nèi)容摘要

本文件描述了用透射電子顯微鏡測試Ⅲ族氮化物半導體材料中位錯成像的方法。本文件適用于六方晶系Ⅲ族氮化物半導體的薄膜或體單晶中位錯成像的測試。

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