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電子級混合氣體配制技術(shù)要求

標(biāo) 準(zhǔn) 號： TCCGA 30009-2025
替代情況：
發(fā)布單位： 中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會
起草單位： 北京首鋼氣體有限公司、中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會、中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司、杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司
發(fā)布日期： 2025-04-25
實施日期： 2025-05-25
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更新日期： 2025年06月11日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了電子級混和氣體的配制或生產(chǎn)的基本要求、設(shè)備設(shè)施要求、技術(shù)要求、配制要求，標(biāo)志、包裝及使用要求。

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