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泛半導體用尾氣處理設備分解移除效率的測試方法

標 準 號： T/CCGA 90004-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會
起草單位： 埃地沃茲貿(mào)易（上海）有限公司、上海市計量測試技術研究院、臺積電（中國） 有限公司、中國電子氣體生產(chǎn)與利用百人會
發(fā)布日期： 2024-12-12
實施日期： 2024-12-12
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更新日期： 2025年05月16日
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本文件規(guī)定了泛半導體用尾氣處理設備分解移除效率的測試方法。

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