本文件規(guī)定了集成電路晶圓制造過(guò)程的單位產(chǎn)品能源消耗（以下簡(jiǎn)稱能耗)限額的技術(shù)要求、統(tǒng)計(jì)范圍、計(jì)算方法、節(jié)能管理與措施。
本文件適用于集成電路晶圓制造企業(yè)單位產(chǎn)品能耗的計(jì)算與考核，以及對(duì)新建及改擴(kuò)建項(xiàng)目的能耗控制。
本文件不適用于12英寸40 nm及以下工藝制程的集成電路制造企業(yè)。
企業(yè)實(shí)驗(yàn)室危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理規(guī)范車用氫燃料電池系統(tǒng)運(yùn)行安全技術(shù)規(guī)范重點(diǎn)特種設(shè)備判定導(dǎo)則電子式飲用冷水水表在線校準(zhǔn)規(guī)范特定蓄能壓力容器使用安全管理要求危險(xiǎn)性較大的分部分項(xiàng)工程安全管理標(biāo)準(zhǔn)集成電路晶圓制造單位產(chǎn)品能源消耗限額上海市建設(shè)項(xiàng)目節(jié)水設(shè)施設(shè)計(jì)方案評(píng)估…
