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微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定

標 準 號: GB/T 17473.6-2008
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 貴研鉑業(yè)股份有限公司
發(fā)布日期: 2008-03-31
實施日期: 2008-09-01
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更新日期: 2020年11月06日
內(nèi)容摘要

本標準代替GB/T17473—1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》(所有部分),本標準分
為7個部分,本部分為GB/T17473—2008的第6部分。 本部分規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料分辨率的測定方法。
本部分適用于微電子技術(shù)用貴金屬漿料的分辨率測定。 本部分代替GB/T17473.6—1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定》。
本部分與GB/T17473.6—1998相比,主要有如下變動:
———將原標準名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定;
———增加了固化型貴金屬漿料分辨率測定的內(nèi)容;
———原“光刻膜絲網(wǎng)網(wǎng)徑2025μm 不銹鋼絲網(wǎng)”改為“光刻膜絲網(wǎng),絲網(wǎng)孔徑不大于54μm”;
———增加6.3將印有固化型的試樣按其規(guī)定的工藝要求進行靜置、烘干、固化,固化后試樣膜厚控制在1μm~15μm;
———分辨率規(guī)格分級重新定義為0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm 五個級別。

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