本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光學(xué)零部件面形偏差的術(shù)語(yǔ)和定義、公差及檢驗(yàn)方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于使用光學(xué)樣板的等厚干涉方法及干涉儀方法檢驗(yàn)光學(xué)零部件的面形偏差。