本文件給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電來源和危害，規(guī)定了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中適用的靜電控制技術(shù)要求。
本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電控制。