本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏件性能參數(shù)測(cè)試方法的基本原理，沒(méi)有規(guī)定這些方法在實(shí)際使用時(shí)的技術(shù)細(xì)節(jié)，測(cè)試時(shí)可按相應(yīng)的詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定進(jìn)行。本標(biāo)準(zhǔn)適用于金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏件性能參數(shù)的測(cè)試，其他氣敏件亦可參照使用。