本文件描述了采用低相干干涉法測(cè)量光電系統(tǒng)中光學(xué)中心間距的原理、測(cè)量條件、測(cè)量設(shè)備、測(cè)量步驟以及測(cè)量數(shù)據(jù)處理。
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