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本文件規(guī)定了晶片承載器自動(dòng)傳送并行輸入/輸出接口的信號定義、信號傳送要求、異常處理,以及連接器和傳感器的要求。 本文件適用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域、用于晶片承載器往返于主動(dòng)型設(shè)備和被動(dòng)型設(shè)備之間的自動(dòng)傳送操作。