本文件給出了靜電控制參數(shù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)（以下簡稱“監(jiān)控系統(tǒng)”）的架構(gòu)和靜電控制參數(shù)類型，規(guī)定了監(jiān)控系統(tǒng)的功能要求和性能要求，描述了對應(yīng)的測試方法。
本文件適用于監(jiān)控系統(tǒng)的研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢驗(yàn)和使用。