本文件規(guī)定了電子用六氟化硫的技術要求、采樣、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存，描述了相應的試驗方法，提供了六氟化硫的安全信息。
本文件適用于以工業(yè)六氟化硫為原料提純制得的電子用六氟化硫。