本文件規(guī)定了光刻用摻鈦石英玻璃（以下簡稱摻鈦石英玻璃）的要求、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和貯存，描述了相應的試驗方法。
本文件適用于半導體集成電路光刻反射光學系統(tǒng)用摻鈦石英玻璃的生產(chǎn)、檢驗、交付和驗收。