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本標準規(guī)定了TDR系列單晶生長爐的術語和定義、產品分類、基本要求、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、訂購與供貨、質量承若。 本標準適用于直拉法單晶生長爐(以下簡稱“單晶爐”)。