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電子工業(yè)用氟化氫中雜質的測定色譜法

標 準 號： DB13/T 5874-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 河北省市場監(jiān)督管理局
起草單位： 中船（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司
發(fā)布日期： 2023-10-25
實施日期： 2023-11-25
點 擊 數：
更新日期： 2023年12月25日
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內容摘要

本文件規(guī)定了電子工業(yè)用氟化氫中雜質的測定原理、試劑或材料、儀器設備、樣品、測定步驟及結果處理等。

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