本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種使用掃描隧道顯微鏡(STM)來分析氣體配送系統(tǒng)部件表面粗糙度的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測定Ra 小于0.25μm 的不銹鋼表面粗糙度的表征。
本標(biāo)準(zhǔn)不適用于不能產(chǎn)生隧道效應(yīng)的厚氧化層鋼鐵。