本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質(zhì),并用石墨爐原子吸收定量檢測(cè)多晶硅塊表面上的痕量金屬雜質(zhì)分析方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鋁、鐵、鉻、鎳、鋅的檢測(cè)。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種棒、塊、粒、鋉片形多晶或單晶硅表面金屬污染物的檢測(cè)。由于塊、片或粒形狀不規(guī)則,面積很難準(zhǔn)確測(cè)定,根據(jù)樣品重量計(jì)算結(jié)果。