本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于線寬180nm、130nm 和90nm 工藝退火硅片。
鋁和鋁合金化學(xué)轉(zhuǎn)化膜規(guī)范鉬銅合金棒規(guī)范鋁產(chǎn)品用粉末涂料水合三氯化銥銅合金連鑄管高純鈦化學(xué)分析方法 痕量雜質(zhì)元素含…鋁加工檢驗(yàn)、測量和試驗(yàn)設(shè)備配備規(guī)范硝酸鈀
