本標準給出了硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料的各種原生缺陷及其密切相關誘生缺陷的術語及其形貌特征圖譜。分析了其產(chǎn)生的原因和消除方法。
本標準適用于硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料生產(chǎn)研究中各種缺陷的檢驗。硅器件、集成電路的生產(chǎn)研究也可參考本標準。