本文件規(guī)定了碳化硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸與貯存、隨行文件和訂貨單內容。
本文件適用于在導電型碳化硅襯底上，生長碳化硅同質外延層的外延片，產品用于制作碳化硅電力電子器件。
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