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金及金合金靶材

標 準 號： GB/T 23611-2023
替代情況： 替代 GB/T 23611-2009
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 有研資源環(huán)境技術(shù)研究院(北京)有限公司、深圳市眾誠達應(yīng)用材料科技有限公司
發(fā)布日期： 2023-08-06
實施日期： 2024-03-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年09月13日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了金及金合金靶材的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于半導體電子器件用金及金合金靶材。

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