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碳化硅單晶拋光片

標 準 號: GB/T 30656-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 有色金屬技術經濟研究院有限責任公司 等
發(fā)布日期: 2023-03-17
實施日期: 2023-10-01
點 擊 數:
更新日期: 2023年04月28日
內容摘要

本文件規(guī)定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的牌號及分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、隨行文件和訂貨單內容。本文件適用于生產電力電子器件、射頻微波器件及LED發(fā)光器件的外延材料用碳化硅單晶拋光片。

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