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真空離子鍍膜設備

標 準 號: JB/T 8946-2010
替代情況: 替代 JB/T 8946-1999
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 沈陽北宇真空設備廠;沈陽真空技術研究所
發(fā)布日期: 2010-02-11
實施日期: 2010-07-01
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更新日期: 2022年03月03日
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內容摘要

本標準規(guī)定了真空離子鍍膜設備的型式與基本參數、技術要求、設備檢驗及其品質評價、質量承諾以及標志、包裝、運輸和貯存。
本標準適用于電弧蒸發(fā)離子鍍膜設備;電子束蒸發(fā)離子鍍膜設備;磁控濺射離子鍍膜設備;上述三類離子鍍膜設備的組合。其它類型的具有離子鍍膜特征的設備可參照執(zhí)行本標準。

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