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本標準規(guī)定了渦輪分子泵的型式和基本參數(shù),技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存等。本標準適用于具有前級泵、變頻電源的渦輪分子泵。