本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子柱氣電測微儀的術(shù)語和定義、型式與基本參數(shù)、要求、檢驗條件、檢驗方法、標(biāo)志與包裝等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于分辨力為0.2μm、0.5μm、1μm，以電子柱（發(fā)光單元）顯示的電子柱氣電測微儀。