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微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法

標 準 號: GB/T 34898-2017
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 中機生產力促進中心
發(fā)布日期: 2017-11-01
實施日期: 2018-05-01
點 擊 數:
更新日期: 2018年04月15日
內容摘要

本標準規(guī)定了諧振式傳感器中MENS諧振敏感元件非線性振動特性參數的測試方法。
本標準適用于敏感元件在研制和生產過程中關于非線性振動特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的測試,其他非MENS敏感元件可參考使用。

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