本標準規(guī)定了真空設(shè)備檢漏方法選擇的人員資格要求、通用要求、檢漏實施的安全要求、選擇程序及選擇原則、檢漏方法的特征參數(shù)。
　　
　　本標準適用于真空設(shè)備的檢漏方法選擇，適用的真空設(shè)備包括真空容器、真空管道、真空泵、真空閥門、真空鍍膜設(shè)備、真空干燥設(shè)備、真空冷凍干燥設(shè)備、表面分析設(shè)備、真空冶金設(shè)備、空間環(huán)境模擬設(shè)備、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備等真空設(shè)備。工作時涉及真空狀態(tài)的其他設(shè)備的檢漏方法選擇也可參照本標準執(zhí)行。