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全方位離子注入與沉積制備類金剛石碳膜 技術(shù)條件

標(biāo) 準(zhǔn) 號： QJ 20505-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 國營一四九廠
發(fā)布日期： 2016-01-19
實(shí)施日期： 2016-03-01
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更新日期： 2017年12月28日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了全方位離子注入與沉積技術(shù)制備的類金剛石碳膜的質(zhì)量要求、質(zhì)量保證規(guī)定和包裝、貯存和運(yùn)輸及技術(shù)安全及環(huán)境保護(hù)要求。

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