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藍寶石襯底片翹曲度測試方法

標 準 號: GB/T 31352-2014
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 江蘇協(xié)鑫軟控設備科技發(fā)展有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
發(fā)布日期: 2014-12-31
實施日期: 2015-09-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2017年12月09日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了藍寶石切割片、研磨片、拋光片(以下簡稱藍寶石襯底片)翹曲度的測試方法提要、干擾因素、儀器和設備、試樣、測試環(huán)境、測試程序、測試結(jié)果的計算、精密度以及試驗報告。
本標準適用于直徑50.8mm~304.8mm,厚度為不小于200μm的藍寶石襯底片翹曲度的測試。

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