本標準規(guī)定了低壓化學氣相淀積(LPCVD)設(shè)備的技術(shù)術(shù)語及薄膜厚度（以下簡稱膜厚）均勻性的計算公式、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、運輸、貯存等方面的要求。