本文件描述了微透鏡陣列中微透鏡波前像差測試的測試裝置及設(shè)備、測試前準備、測試原理及測試程序等內(nèi)容。
本文件適用于在共同基底的內(nèi)部或一個或多個表面上形成的由非常小的透鏡組成的微透鏡陣列的波前像差測試。