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微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法

標 準 號： GB/T 38341-2019
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 東南大學、華為技術有限公司、佛山市川東磁電股份有限公司等
發(fā)布日期： 2019-12-31
實施日期： 2020-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年02月03日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了ＭＥＭＳ器件可靠性綜合環(huán)境的試驗方法和失效結果處理。

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