本標準規(guī)定了采用電感耦合等離子體發(fā)射光譜法(ICP-OES)測定氫氟酸中金屬元素的試驗方法。本標準適用于電子工業(yè)用氫氟酸中痕量金屬元素鈉(Na)、鎂(Mg)、鋁(Al)、鉀(K)、鈣(Ca)、鈦(Ti)、釩(V)、鉻(Cr)、錳(Mn)、鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)、銅(Cu)、鋅(Zn)、砷(As)、鍶(Sr)、銀(Ag)、鎘(Cd)、錫(Sn)、銻(Sb)、鋇(Ba)、鉛(Pb)的測定。本標準不涉及使用安全性問題，本標準的使用人應負責建立適當?shù)陌踩】禇l款及使用范圍的限制。
