本標準規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測定光伏電池用硅材料中磷、砷和銻含量的方法,本標準適用于光伏電池用硅材料中施主雜質(zhì)磷、砷和銻含量的定量分析,其中磷、砷和銻的濃度均大于1×10(14)atoms/cm3。