本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體材料切削液的各項技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、儲存及運(yùn)輸?shù)纫蟆?br /> 本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體材料線切割加工采用的切削液。
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