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納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測(cè)試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 43915-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
發(fā)布日期： 2024-04-25
實(shí)施日期： 2024-11-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年05月24日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測(cè)試方法的分類(lèi)及原理、測(cè)試設(shè)備、測(cè)試環(huán)境、測(cè)試程序及測(cè)試數(shù)據(jù)處理。


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