本標準規(guī)定了硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法。
本標準適用于硅拋光片表面區(qū)在模擬器件氧化工藝中誘生或增強的晶體缺陷的檢測。
硅單晶氧化誘生缺陷的檢驗也可參照此方法。
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