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硅基MEMS制造技術 氫氧化鉀腐蝕工藝規(guī)范

標 準 號： GB/T 28275-2012
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位： 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所、重慶大學、東南大學、中國電子科技集團第四十九研究所等
發(fā)布日期： 2012-05-11
實施日期： 2012-12-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2016年11月24日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了采用氫氧化鉀腐蝕工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求。
本標準適用于氫氧化鉀腐蝕工藝和管理。

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