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表面化學分析 硅片工作標準樣品表面元素的化學收集方法和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)測定

標 準 號: GB/T 30701-2014
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位: 中國計量科學研究院
發(fā)布日期: 2014-06-09
實施日期: 2014-12-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2015年01月30日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了硅片工作標準樣品表面元素鐵和/或鎳的化學收集方法(氣相分解法或直接酸性液滴分解法)和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)測定 。

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