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本標準規(guī)定了硅烷氣體的技術要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 本標準適用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。